化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)簡介
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的目的
■ 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子
■ 供應(yīng)高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案
■ 供應(yīng)高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案
■ 供應(yīng)高純度化學(xué)品以為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物
■ 供應(yīng)高純度化學(xué)品以研磨芯片
■ 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗制程設(shè)備零配件
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(一)
化學(xué)品種類與用途(一)
■ 酸性:
○ 腐蝕性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3PO4...
○ 毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...
○ 堿性:NH4OH,KOH,Developer...
■ 有機溶劑:
○ 易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液...
○ 腐蝕性有機溶劑:EKC,EBR,HMDS...
■ 氧化性:HNO3 ,H2O2...
化學(xué)品種類與用途(二)
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的基本要求
■ 操作安全:腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮
■ 化學(xué)品零污染:與化學(xué)品接觸部分完全與化學(xué)品兼容
■ 微粒子控制:過濾器循環(huán)過濾
■ 滿足最大需求流量:高濃度化學(xué)品如H2SO4、H3PO4
■ 自動控制操作運轉(zhuǎn):系統(tǒng)單元與機臺界面自動化
■ 取樣分析:系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子含量取樣分析
■ 泄漏警報:偵測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO)
■ 系統(tǒng)診斷:Pump、Filter 、Valve運轉(zhuǎn)時數(shù)
■ 維修保養(yǎng)管路 Auto Purge/Flush 功能
■ 化學(xué)品用量統(tǒng)計
化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(二)
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(三)
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(四)
CCB流程圖
CDS流程圖(型一)
CDS流程圖(型二)
CDS流程圖(型三)
Tee-Box的構(gòu)造
VMB的構(gòu)造
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的材料要求
■ 一般無機酸堿類
○ 外管:CPVC
○ 內(nèi)管:PFA Piping & Tubing
○ 管件:鐵弗龍材質(zhì)制品
■ 有機溶劑類</span>
○ 外管:SUS 304
○ 內(nèi)管:SUS 316L EP
○ 管件:SUS 316L以上制品
■ 有機堿類
○ 外管:SUS 304
○ 內(nèi)管:PFA Piping & Tubing
○ 管件:鐵弗龍材質(zhì)制品
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(一)
■ 充分閱讀MSDS,認識化學(xué)品之物質(zhì)特性,危害性,危害標(biāo)示,危害途徑及防護措施
■ 工作前,先行思考及演練各細節(jié)后,再行動
■ 工作時應(yīng)雙人以上搭配作業(yè),事前事后確認
■ 正確選用及使用適當(dāng)防護器具
■ 正確處理化學(xué)品廢棄物,避免造成后續(xù)傷害
■ 良好個人安全衛(wèi)生環(huán)保習(xí)慣
■ 認知工作安全”意外”意識
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(二)
■ 熟知化學(xué)品泄漏處理七項步驟
○ 遠離泄漏源辨示泄漏狀況
○ 尋求協(xié)助支持
○ 管制隔離污染區(qū)
○ 拯救傷員
○ 圍堵外泄物
○ 清除污染物及環(huán)境檢測
○ 事故調(diào)查記錄留存
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(三)
■ 熟知化學(xué)品淋濺燒傷之急救處理
○ 稀釋、去除污染在皮膚或粘膜上之有害化學(xué)物質(zhì)
○ 自救——救人前應(yīng)先保護自己
○ 沖——清水不斷沖洗至少15分鐘
○ 脫——邊沖邊脫并避免二次傷害
○ 支持——請求支持成立緊急處理ERT 對HF時-須不斷地涂抹葡萄酸鈣(涂抹-按摩-擦凈-涂抹)
○ 送——盡速送醫(yī)
化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(四)
■ 熟知化學(xué)品吸入/食入/眼睛接觸之處理
○ 原則
1、維持呼吸,血液循環(huán),維持患者生命
2、減輕患者病痛,促使其能早日康復(fù)
○ 呼吸道吸入
1、離開污染區(qū)(避免自己或其它人再受污染)
2、喊叫,打電話求救,請求支持
3、確認吸入物質(zhì),維持呼吸心跳,盡速送醫(yī)
○ 消化道食入
1、喊叫,打電話求救,請求支持
2、催吐(若昏迷,意識不清或誤食腐蝕性物質(zhì),則不得催吐)
3、 確認吸入物質(zhì),維持呼吸心跳,盡速送醫(yī)
○ 眼睛接觸
1、迅速翻開眼瞼,清水輕洗15分鐘以上,立刻送醫(yī)
上海晶福機電科技有限公司服務(wù)于平板顯示、半導(dǎo)體晶圓、光伏太陽能、電子化學(xué)品等高科技電子廠房的設(shè)備制造、工程設(shè)計、施工及管理。
上海晶福機電科技有限公司提供廠務(wù)和環(huán)保工程建設(shè),主要:①提供的產(chǎn)品及相關(guān)服務(wù)包括:高純化學(xué)品輸送系統(tǒng)、特殊氣體供應(yīng)。
②濕制程清洗設(shè)備,電子級化學(xué)品生產(chǎn)及灌裝系統(tǒng),廢酸回收系統(tǒng),TCM服務(wù),無塵室及機電工程。我們擁有專業(yè)技術(shù)、研發(fā)以及生產(chǎn)團隊。我們秉承著專業(yè)、服務(wù)、品質(zhì)的理念為您提供整套系統(tǒng)工程,專屬您的定制解決方案,我們期待與您攜手并進。
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