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化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)簡介


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的目的


■    供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子

■    供應(yīng)高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案

■    供應(yīng)高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案

■    供應(yīng)高純度化學(xué)品以為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物

■    供應(yīng)高純度化學(xué)品以研磨芯片

■    供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗制程設(shè)備零配件


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(一)



化學(xué)品種類與用途(一)


■    酸性:

○    腐蝕性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3PO4...

○    毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...

○    堿性:NH4OH,KOH,Developer...


■    有機溶劑:

○    易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液...

○    腐蝕性有機溶劑:EKC,EBR,HMDS...


■    氧化性:HNO3 ,H2O2...


化學(xué)品種類與用途(二)


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的基本要求


■    操作安全:腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮

■    化學(xué)品零污染:與化學(xué)品接觸部分完全與化學(xué)品兼容

■    微粒子控制:過濾器循環(huán)過濾

■    滿足最大需求流量:高濃度化學(xué)品如H2SO4、H3PO4

■    自動控制操作運轉(zhuǎn):系統(tǒng)單元與機臺界面自動化

■    取樣分析:系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子含量取樣分析

■    泄漏警報:偵測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO)

■    系統(tǒng)診斷:Pump、Filter 、Valve運轉(zhuǎn)時數(shù)

■    維修保養(yǎng)管路 Auto Purge/Flush 功能

■    化學(xué)品用量統(tǒng)計


化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(二)


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(三)


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)流程圖(四)


CCB流程圖


CDS流程圖(型一)

CDS流程圖(型二)



CDS流程圖(型三)


Tee-Box的構(gòu)造


VMB的構(gòu)造


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的材料要求

■    一般無機酸堿類

    ○    外管:CPVC

    ○    內(nèi)管:PFA Piping & Tubing

    ○    管件:鐵弗龍材質(zhì)制品

■    有機溶劑類</span>

    ○    外管:SUS 304

    ○    內(nèi)管:SUS 316L EP

    ○    管件:SUS 316L以上制品

■    有機堿類

    ○    外管:SUS 304

    ○    內(nèi)管:PFA Piping & Tubing

    ○    管件:鐵弗龍材質(zhì)制品


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(一)


■    充分閱讀MSDS,認識化學(xué)品之物質(zhì)特性,危害性,危害標(biāo)示,危害途徑及防護措施

■    工作前,先行思考及演練各細節(jié)后,再行動

■    工作時應(yīng)雙人以上搭配作業(yè),事前事后確認

■    正確選用及使用適當(dāng)防護器具

■    正確處理化學(xué)品廢棄物,避免造成后續(xù)傷害

■    良好個人安全衛(wèi)生環(huán)保習(xí)慣

■    認知工作安全”意外”意識



化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(二)


■    熟知化學(xué)品泄漏處理七項步驟

    ○    遠離泄漏源辨示泄漏狀況

    ○    尋求協(xié)助支持

    ○    管制隔離污染區(qū)

    ○    拯救傷員

    ○    圍堵外泄物

    ○    清除污染物及環(huán)境檢測

    ○    事故調(diào)查記錄留存


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(三)


■    熟知化學(xué)品淋濺燒傷之急救處理

    ○    稀釋、去除污染在皮膚或粘膜上之有害化學(xué)物質(zhì)

    ○    自救——救人前應(yīng)先保護自己

    ○    沖——清水不斷沖洗至少15分鐘

    ○    脫——邊沖邊脫并避免二次傷害

    ○    支持——請求支持成立緊急處理ERT 對HF時-須不斷地涂抹葡萄酸鈣(涂抹-按摩-擦凈-涂抹)

    ○    送——盡速送醫(yī)


化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)操作注意事項(四)


■    熟知化學(xué)品吸入/食入/眼睛接觸之處理

    ○    原則

            1、維持呼吸,血液循環(huán),維持患者生命

            2、減輕患者病痛,促使其能早日康復(fù)

   ○     呼吸道吸入

            1、離開污染區(qū)(避免自己或其它人再受污染)

            2、喊叫,打電話求救,請求支持

            3、確認吸入物質(zhì),維持呼吸心跳,盡速送醫(yī)

    ○    消化道食入

            1、喊叫,打電話求救,請求支持

            2、催吐(若昏迷,意識不清或誤食腐蝕性物質(zhì),則不得催吐)

           3、 確認吸入物質(zhì),維持呼吸心跳,盡速送醫(yī)

    ○    眼睛接觸

            1、迅速翻開眼瞼,清水輕洗15分鐘以上,立刻送醫(yī)

    

上海晶福機電科技有限公司服務(wù)于平板顯示、半導(dǎo)體晶圓、光伏太陽能、電子化學(xué)品等高科技電子廠房的設(shè)備制造、工程設(shè)計、施工及管理。

上海晶福機電科技有限公司提供廠務(wù)和環(huán)保工程建設(shè),主要:①提供的產(chǎn)品及相關(guān)服務(wù)包括:高純化學(xué)品輸送系統(tǒng)、特殊氣體供應(yīng)。

②濕制程清洗設(shè)備,電子級化學(xué)品生產(chǎn)及灌裝系統(tǒng),廢酸回收系統(tǒng),TCM服務(wù),無塵室及機電工程。我們擁有專業(yè)技術(shù)、研發(fā)以及生產(chǎn)團隊。我們秉承著專業(yè)、服務(wù)、品質(zhì)的理念為您提供整套系統(tǒng)工程,專屬您的定制解決方案,我們期待與您攜手并進。



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